Центробежный вакуумный насос
Центробежный вакуумный насос, часто называемый турбомолекулярным насосом, – это механический насос, создающий высокий и сверхвысокий вакуум за счёт использования многоступенчатых высокоскоростных вращающихся турбинных лопаток, которые сталкиваясь с молекулами газа и передавая им направленный импульс, перемещая их от входа к выходу. Его ключевыми особенностями являются способность создавать исключительно чистую, безмасляную вакуумную среду, а также высокая скорость откачки и превосходный предельный вакуум. Он работает исключительно за счёт механического движения без использования перекачиваемой жидкости, что исключает риск загрязнения парами масла. Он является незаменимым компонентом в передовых областях, требующих высочайшей чистоты вакуума, таких как производство полупроводниковых кристаллов, научные исследования, физика поверхности и физика высоких энергий.

